Ceramika z węglika krzemu: precyzyjne komponenty niezbędne w procesach półprzewodnikowych (część 1)
Węglik krzemu (SiC), jako wysokowydajny konstrukcyjny materiał ceramiczny, charakteryzuje się takimi właściwościami, jak wysoka gęstość, wysoka przewodność cieplna, wysoka wytrzymałość na zginanie, duży moduł sprężystości, duża odporność na korozję i odporność na wysoką temperaturę. Jest mniej podatny na odkształcenia w wyniku naprężenia zginającego lub odkształcenia termicznego, dzięki czemu nadaje się do stosowania w trudnych środowiskach korozyjnych i o bardzo wysokiej temperaturze występujących w procesach półprzewodnikowych, takich jak epitaksja płytek, trawienie i nie tylko. W związku z tym znalazł szerokie zastosowanie w procesach takich jak szlifowanie i polerowanie, obróbka cieplna, taka jak epitaksja/utlenianie/dyfuzja, litografia, osadzanie, trawienie i implantacja jonów w produkcji półprzewodników.
Proces szlifowania
• Ziarna ściernicy z węglika krzemu
Ściernica SiC do szlifowania płytek Po pocięciu wlewków na wafle często pojawiają się ostre krawędzie, zadziory, pęknięcia lub inne wady. Aby uniknąć niekorzystnego wpływu na wytrzymałość płytki, wykończenie powierzchni i zanieczyszczenie cząstkami w kolejnych procesach, płytki należy zeszlifować w celu zmniejszenia grubości, poprawy płaskości powierzchni płytki i wyeliminowania uszkodzeń powierzchni spowodowanych cięciem drutem. Obecnie najczęściej stosowaną metodą jest szlifowanie obustronne przy użyciu ściernic, dążąc do poprawy jakości szlifowania poprzez optymalizację parametrów szlifowania, takich jak materiał ściernicy, docisk szlifowania i prędkość obrotowa.
Zasada szlifowania dwustronnego
Tradycyjnie ściernice wykonywano głównie z żeliwa lub stali węglowej, charakteryzujących się krótką żywotnością i znacznymi współczynnikami rozszerzalności cieplnej. Jednakże wraz z rozwojem odpornych na zużycie materiałów ceramicznych SiC i procesów spiekania, ściernice SiC stopniowo zastąpiły ściernice z żeliwa i stali węglowej ze względu na ich wysoką twardość, niskie zużycie i współczynniki rozszerzalności cieplnej podobne do płytek krzemowych, oferując znaczne zalety, szczególnie w procesach szlifowania i polerowania z dużą prędkością.
Ściernica z węglika krzemu
Obróbka termiczna i inne procesy
• Oprawy i komponenty z węglika krzemu wewnątrz komór reakcyjnych
Mocowania i komponenty SiC w komorach reakcyjnych Produkcja płytek obejmuje różne procesy termiczne, takie jak utlenianie, dyfuzja, wyżarzanie i tworzenie stopów, które wymagają produktów ceramicznych SiC do transportu płytek pomiędzy procesami i komponentami w urządzeniach do obróbki cieplnej.
Ceramiczne ramiona
Przy produkcji płytek półprzewodnikowych konieczna jest obróbka cieplna w wysokiej temperaturze, często przy użyciu ramion mechanicznych do transportu, przenoszenia i pozycjonowania płytek półprzewodnikowych. Ramiona te muszą charakteryzować się wysoką wytrzymałością mechaniczną, odpornością na korozję, odpornością na wysoką temperaturę, odpornością na zużycie, wysoką twardością i izolacją, ponieważ działają w czystych, szybkich i często korozyjnych środowiskach, takich jak próżnia, wysokie temperatury i reaktywne gazy . W porównaniu z tlenkiem glinu, ramiona ceramiczne SiC lepiej spełniają te wymagania, ale ich wysoki koszt i trudności w przetwarzaniu nieco ograniczyły ich zastosowanie.
Komponenty w komorach reakcyjnych
Sprzęt półprzewodnikowy do obróbki termicznej obejmuje piece do utleniania (poziome i pionowe) oraz urządzenia do szybkiego przetwarzania termicznego (RTP). Ze względu na wysokie temperatury robocze elementy znajdujące się w komorach reakcyjnych wymagają wysokiej wydajności. Komponenty ze spiekanego SiC o wysokiej czystości, w tym łodzie pionowe, cokoły, rury wykładzinowe, rury wewnętrzne i przegrody, są niezbędne w urządzeniach do obróbki cieplnej obwodów scalonych.
Komponenty wewnątrz komór reakcyjnych
Ciąg dalszy nastąpi....
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. jest renomowanym i niezawodnym dostawcą specjalizującym się w produkcji i sprzedaży technicznych części ceramicznych. Zapewniamy produkcję na zamówienie i precyzyjną obróbkę szerokiej gamy wysokowydajnych materiałów ceramicznych, w tym ceramika z tlenku glinu, ceramika cyrkonowa, azotek krzemu, węglik krzemu, azotek boru, azotek aluminium I ceramika szklana nadająca się do obróbki mechanicznej. Obecnie nasze części ceramiczne można znaleźć w wielu gałęziach przemysłu, takich jak mechaniczny, chemiczny, medyczny, półprzewodnikowy, samochodowy, elektroniczny, metalurgiczny itp. Naszą misją jest dostarczanie najwyższej jakości części ceramicznych użytkownikom na całym świecie i wielką przyjemnością jest oglądanie naszej ceramiki części działają wydajnie w specyficznych zastosowaniach klientów. Możemy współpracować zarówno przy produkcji prototypowej, jak i masowej, zapraszamy do kontaktu z nami, jeśli masz wymagania.
