Ceramiczne płytki z węglika krzemu Sic do trawienia ICP

Szczegóły produktu

Nośniki płytek wykorzystywane w procesach epitaksji są poddawane działaniu wysokich temperatur i rygorystycznemu czyszczeniu chemicznemu. Mascera oferuje wysokiej czystości ceramiczne płytki z węglika krzemu, które zapewniają wyjątkową odporność na ciepło, równomierny rozkład ciepła dla uzyskania stałej grubości i wytrzymałości warstwy epitaksjalnej oraz wysoką odporność chemiczną.

Ceramika beztlenkowa, węglik krzemu (SiC), to supertwardy materiał o twardości w skali Mohsa do 9,5. Ceramika z węglika krzemu charakteryzuje się nie tylko doskonałymi właściwościami mechanicznymi w temperaturze pokojowej, takimi jak wysoka wytrzymałość na zginanie, doskonała odporność na utlenianie, dobra odporność na korozję, wysoka odporność na zużycie i niski współczynnik tarcia, ale także doskonałymi właściwościami mechanicznymi (wytrzymałość, odporność na pełzanie) w wysokich temperaturach. Wytrzymałość w wysokich temperaturach utrzymuje się do 1600°C, co jest najwyższą wartością spośród wszystkich materiałów ceramicznych. Odporność na utlenianie ceramiki z węglika krzemu jest również najlepsza spośród wszystkich ceramik beztlenkowych.

Mascera produkowała ceramikę z węglika krzemu w dwóch formach: spiekanego węglika krzemu (SSiC) i reakcyjnie wiązanego węglika krzemu (SiSiC). 

Spiekany węglik krzemu jest produkowany z wysokiej czystości proszków o nanocząsteczkach, które są spiekane w wysokiej temperaturze od 2100°C do 2200°C. Proces spiekania prowadzi do zagęszczenia surowego materiału i około 20% skurczu. Z kolei węglik krzemu wiązany reakcyjnie wykorzystuje proszek węglika krzemu o mikronowej wielkości i jest spiekany w temperaturze od 1450°C do 1700°C. W przeciwieństwie do spiekanego węglika krzemu, węglik krzemu wiązany reakcyjnie nie ulega skurczowi kształtu podczas procesu spiekania.

Wyższa temperatura spiekania spiekanego węglika krzemu przekłada się na lepsze parametry użytkowe, w tym wyższą gęstość, zwiększoną wytrzymałość oraz zwiększoną odporność na utlenianie i korozję. W zastosowaniach, które nie wymagają tak wysokich parametrów użytkowych, węglik krzemu wiązany metodą wiązania reakcyjnego jest bardziej opłacalnym wyborem.

Główne właściwości ceramiki z węglika krzemu

• Wysoka wytrzymałość w wysokich temperaturach

• Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze

• Doskonała odporność na zużycie

• Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej

• Wysoka przewodność cieplna

• Doskonała odporność na szok termiczny

• Wysoka twardość

• Lekka waga dzięki niskiej gęstości
  

• Dobra odporność na korozję

Typowe zastosowania ceramiki z węglika krzemu

• Pierścienie uszczelniające mechaniczne

• Kulki, gniazda, tuleje zaworowe

• Meble do pieca

• Wymienniki ciepła

• Stałe i ruchome elementy turbiny

• Środki mielące

• Komponenty do palników

• Łożyska ceramiczne

Karta charakterystyki materiału

Dostępne kształty ceramiki węglika krzemu

1. Pręt ceramiczny / trzpień ceramiczny / tłok ceramiczny

2. Rurka ceramiczna / tuleja ceramiczna / tuleja ceramiczna

3. Pierścień ceramiczny / podkładka ceramiczna / dystans ceramiczny 

4. Tarcza ceramiczna

5. Płyta ceramiczna / blok ceramiczny

6. Kula ceramiczna

7. Tłok ceramiczny

8. Tygiel ceramiczny

9. Inne niestandardowe części ceramiczne

Pakowanie i wysyłka